{"id":7993,"date":"2023-07-17T15:03:34","date_gmt":"2023-07-17T07:03:34","guid":{"rendered":"https:\/\/www.huashu-tech.com\/?p=7993"},"modified":"2023-07-17T15:03:42","modified_gmt":"2023-07-17T07:03:42","slug":"greatly-improving-polycrystalline-germanium-transistor-properties","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.huashu-tech.com\/th\/greatly-improving-polycrystalline-germanium-transistor-properties\/","title":{"rendered":"\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e38\u0e07\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e17\u0e23\u0e32\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e2a\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e40\u0e08\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e40\u0e21\u0e40\u0e19\u0e35\u0e22\u0e21\u0e42\u0e1e\u0e25\u0e35\u0e04\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e15\u0e31\u0e25\u0e44\u0e25\u0e19\u0e4c\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e21\u0e32\u0e01"},"content":{"rendered":"
\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e48\u0e27\u0e21\u0e21\u0e37\u0e2d\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e34\u0e08\u0e31\u0e22\u0e44\u0e14\u0e49\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e1f\u0e34\u0e25\u0e4c\u0e21\u0e42\u0e1e\u0e25\u0e35\u0e04\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e15\u0e31\u0e25\u0e44\u0e25\u0e19\u0e4c\u0e43\u0e2b\u0e21\u0e48\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e44\u0e14\u0e49\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e0b\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e21\u0e34\u0e15\u0e34 (3D) \u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e27\u0e07\u0e08\u0e23\u0e23\u0e27\u0e21\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e43\u0e2b\u0e0d\u0e48 (LSI) \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e38\u0e07\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e17\u0e23\u0e32\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e2a\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e42\u0e1e\u0e25\u0e35\u0e04\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e15\u0e31\u0e25\u0e44\u0e25\u0e19\u0e4c\u0e40\u0e08\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e40\u0e21\u0e40\u0e19\u0e35\u0e22\u0e21 (Ge) \u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14 N \u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e21\u0e32\u0e01<\/p>\n <\/p>\n Polycrystalline Ge \u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e15\u0e48\u0e33\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32 (500 \u00b0C \u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e15\u0e48\u0e33\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32) \u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e42\u0e1e\u0e25\u0e35\u0e04\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e15\u0e31\u0e25\u0e44\u0e25\u0e19\u0e4c (Si) \u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e01\u0e31\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22 \u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e0b\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e27\u0e07\u0e08\u0e23 CMOS \u0e44\u0e14\u0e49\u0e42\u0e14\u0e22\u0e15\u0e23\u0e07\u00a0\u0e27\u0e07\u0e08\u0e23\u0e23\u0e27\u0e21<\/a>\u00a0\u0e42\u0e14\u0e22\u0e44\u0e21\u0e48\u0e01\u0e48\u0e2d\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e35\u0e22\u0e2b\u0e32\u0e22\u0e08\u0e32\u0e01\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e21\u0e35\u0e41\u0e19\u0e27\u0e42\u0e19\u0e49\u0e21\u0e27\u0e48\u0e32\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e4c\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a 3D-LSI \u0e19\u0e2d\u0e01\u0e08\u0e32\u0e01\u0e19\u0e35\u0e49\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e15\u0e23\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e23\u0e39\u0e43\u0e19 Ge \u0e19\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e43\u0e19 Si \u0e14\u0e31\u0e07\u0e19\u0e31\u0e49\u0e19\u0e08\u0e36\u0e07\u0e04\u0e32\u0e14\u0e2b\u0e27\u0e31\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e07\u0e32\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e23\u0e47\u0e27\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e41\u0e23\u0e07\u0e14\u0e31\u0e19\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e15\u0e48\u0e33 \u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e17\u0e23\u0e32\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e2a\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14 N \u0e41\u0e25\u0e30 P \u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e07\u0e32\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e07\u0e08\u0e23\u0e23\u0e27\u0e21 \u0e17\u0e23\u0e32\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e2a\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14 P \u0e02\u0e2d\u0e07\u0e42\u0e1e\u0e25\u0e35\u0e04\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e15\u0e31\u0e25\u0e44\u0e25\u0e19\u0e4c Ge \u0e21\u0e35\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e40\u0e1e\u0e35\u0e22\u0e07\u0e1e\u0e2d\u0e41\u0e25\u0e49\u0e27\u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e43\u0e01\u0e25\u0e49\u0e40\u0e04\u0e35\u0e22\u0e07\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e17\u0e23\u0e32\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e2a\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c Si \u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01\u0e40\u0e14\u0e35\u0e48\u0e22\u0e27\u0e17\u0e31\u0e48\u0e27\u0e44\u0e1b \u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e44\u0e23\u0e01\u0e47\u0e15\u0e32\u0e21 \u0e01\u0e23\u0e30\u0e41\u0e2a\u0e02\u0e31\u0e1a\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e17\u0e23\u0e32\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e2a\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14 N \u0e19\u0e31\u0e49\u0e19\u0e15\u0e48\u0e33\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e01\u0e23\u0e30\u0e41\u0e2a\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e17\u0e23\u0e32\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e2a\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c Si \u0e17\u0e31\u0e48\u0e27\u0e44\u0e1b\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e32\u0e13 10 \u0e40\u0e17\u0e48\u0e32\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e21\u0e32\u0e01\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e1b\u0e31\u0e0d\u0e2b\u0e32 \u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e19\u0e35\u0e49\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e01\u0e23\u0e30\u0e41\u0e2a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e32\u0e13 10 \u0e40\u0e17\u0e48\u0e32\u0e40\u0e21\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e40\u0e17\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e17\u0e31\u0e48\u0e27\u0e44\u0e1b \u0e14\u0e31\u0e07\u0e19\u0e31\u0e49\u0e19\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e23\u0e47\u0e27\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e07\u0e32\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e07\u0e08\u0e23\u0e23\u0e27\u0e21\u0e42\u0e1e\u0e25\u0e35\u0e04\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e15\u0e31\u0e25\u0e44\u0e25\u0e19\u0e4c Ge \u0e08\u0e36\u0e07\u0e04\u0e32\u0e14\u0e27\u0e48\u0e32\u0e08\u0e30\u0e2d\u0e22\u0e39\u0e48\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e17\u0e35\u0e48\u0e08\u0e33\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e08\u0e23\u0e34\u0e07 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e21\u0e35\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c 3D-LSI \u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e08\u0e23\u0e34\u0e07<\/p>\n \u0e23\u0e32\u0e22\u0e25\u0e30\u0e40\u0e2d\u0e35\u0e22\u0e14\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e41\u0e25\u0e49\u0e27\u0e44\u0e14\u0e49\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e32\u0e28\u0e43\u0e19 \u201c\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e0a\u0e38\u0e21\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e15\u0e23\u0e2d\u0e19\u0e19\u0e32\u0e19\u0e32\u0e0a\u0e32\u0e15\u0e34\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e08\u0e33\u0e1b\u0e35 2014\u201d \u0e17\u0e35\u0e48\u0e08\u0e30\u0e08\u0e31\u0e14\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e0b\u0e32\u0e19\u0e1f\u0e23\u0e32\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e2a\u0e42\u0e01 \u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28\u0e2a\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e10\u0e2d\u0e40\u0e21\u0e23\u0e34\u0e01\u0e32 \u0e23\u0e30\u0e2b\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e27\u0e31\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48 15-17 \u0e18\u0e31\u0e19\u0e27\u0e32\u0e04\u0e21 2014<\/p>\n \u0e43\u0e19\u0e1b\u0e31\u0e08\u0e08\u0e38\u0e1a\u0e31\u0e19 \u0e1c\u0e39\u0e49\u0e04\u0e19\u0e08\u0e33\u0e19\u0e27\u0e19\u0e21\u0e32\u0e01\u0e21\u0e35\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e44\u0e2d\u0e17\u0e35 \u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 \u0e2a\u0e21\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e17\u0e42\u0e1f\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e41\u0e17\u0e47\u0e1a\u0e40\u0e25\u0e47\u0e15 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e1b\u0e23\u0e34\u0e21\u0e32\u0e13\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e39\u0e25\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e27\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e01\u0e47\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e21\u0e32\u0e01 \u0e41\u0e21\u0e49\u0e27\u0e48\u0e32\u0e08\u0e30\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e38\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e27\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e39\u0e25\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c IT \u0e15\u0e48\u0e2d\u0e44\u0e1b \u0e41\u0e15\u0e48\u0e1b\u0e23\u0e34\u0e21\u0e32\u0e13\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e01\u0e47\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19 \u0e14\u0e31\u0e07\u0e19\u0e31\u0e49\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c IT \u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e15\u0e48\u0e33\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e1e\u0e34\u0e40\u0e28\u0e29\u0e08\u0e36\u0e07\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2a\u0e34\u0e48\u0e07\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e48\u0e07\u0e40\u0e2a\u0e23\u0e34\u0e21\u0e2a\u0e31\u0e07\u0e04\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e19\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e25\u0e07 \u0e43\u0e19\u0e02\u0e13\u0e30\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e15\u0e48\u0e33\u0e02\u0e2d\u0e07 LSI \u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e17\u0e33\u0e44\u0e14\u0e49\u0e1c\u0e48\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e22\u0e48\u0e2d\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e17\u0e23\u0e32\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e2a\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e08\u0e19\u0e16\u0e36\u0e07\u0e02\u0e13\u0e30\u0e19\u0e35\u0e49 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e22\u0e48\u0e2d\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e40\u0e15\u0e34\u0e21\u0e44\u0e14\u0e49\u0e1e\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e08\u0e19\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e49\u0e27\u0e27\u0e48\u0e32\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e17\u0e49\u0e32\u0e17\u0e32\u0e22\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e28\u0e23\u0e29\u0e10\u0e01\u0e34\u0e08 \u0e43\u0e19\u0e02\u0e13\u0e30\u0e40\u0e14\u0e35\u0e22\u0e27\u0e01\u0e31\u0e19 \u0e27\u0e07\u0e08\u0e23\u0e23\u0e27\u0e21 3 \u0e21\u0e34\u0e15\u0e34\u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e21\u0e35 LSI \u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e15\u0e31\u0e27\u0e0b\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e01\u0e31\u0e19\u0e44\u0e21\u0e48\u0e40\u0e1e\u0e35\u0e22\u0e07\u0e41\u0e15\u0e48\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1a\u0e39\u0e23\u0e13\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e42\u0e14\u0e22\u0e44\u0e21\u0e48\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e22\u0e48\u0e2d\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14 \u0e41\u0e15\u0e48\u0e22\u0e31\u0e07\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e42\u0e22\u0e0a\u0e19\u0e4c\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2b\u0e22\u0e31\u0e14\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e25\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e25\u0e48\u0e32\u0e0a\u0e49\u0e32\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2a\u0e32\u0e22\u0e44\u0e1f \u0e27\u0e34\u0e18\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e1f\u0e34\u0e25\u0e4c\u0e21\u0e1a\u0e32\u0e07\u0e02\u0e2d\u0e07 LSI \u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e41\u0e22\u0e01\u0e01\u0e31\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e0b\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e01\u0e31\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e41\u0e15\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e48\u0e32\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e08\u0e48\u0e32\u0e22\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e44\u0e21\u0e48\u0e44\u0e14\u0e49\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e38\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e19\u0e32\u0e41\u0e19\u0e48\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2a\u0e32\u0e22\u0e44\u0e1f\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e40\u0e1e\u0e35\u0e22\u0e07\u0e1e\u0e2d \u0e14\u0e31\u0e07\u0e19\u0e31\u0e49\u0e19\u0e08\u0e36\u0e07\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1e\u0e36\u0e07\u0e1b\u0e23\u0e32\u0e23\u0e16\u0e19\u0e32\u0e17\u0e35\u0e48\u0e08\u0e30\u0e21\u0e35\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35 3D-LSI \u0e43\u0e2b\u0e21\u0e48\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e27\u0e07\u0e08\u0e23 CMOS \u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e0b\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e01\u0e31\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e40\u0e19\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e43\u0e19\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e14\u0e34\u0e19\u0e2a\u0e32\u0e22\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e07\u0e08\u0e23\u0e23\u0e27\u0e21 CMOS \u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e21\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e32\u0e22\u0e44\u0e1f\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e1a\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e25\u0e48\u0e32\u0e07<\/p>\n \u0e23\u0e48\u0e27\u0e21\u0e01\u0e31\u0e1a Tsutomu Tezuka (\u0e1c\u0e39\u0e49\u0e40\u0e0a\u0e35\u0e48\u0e22\u0e27\u0e0a\u0e32\u0e0d\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e34\u0e08\u0e31\u0e22\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e02\u0e49\u0e21\u0e02\u0e49\u0e19\u0e40\u0e09\u0e1e\u0e32\u0e30), Koji Usuda (\u0e1c\u0e39\u0e49\u0e40\u0e0a\u0e35\u0e48\u0e22\u0e27\u0e0a\u0e32\u0e0d\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e34\u0e08\u0e31\u0e22\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e02\u0e49\u0e21\u0e02\u0e49\u0e19\u0e40\u0e09\u0e1e\u0e32\u0e30) (\u0e1b\u0e31\u0e08\u0e08\u0e38\u0e1a\u0e31\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e39\u0e48\u0e01\u0e31\u0e1a Toshiba Corporation \u0e17\u0e31\u0e49\u0e07\u0e04\u0e39\u0e48) \u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e19\u0e2d\u0e37\u0e48\u0e19\u0e46 \u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e25\u0e38\u0e48\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32 CMOS \u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e43\u0e2b\u0e21\u0e48\/\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e43\u0e2b\u0e21\u0e48 \u0e17\u0e35\u0e21\u0e27\u0e34\u0e08\u0e31\u0e22\u0e23\u0e48\u0e27\u0e21 Green Nanoelectronics Center (GNC) \u0e01\u0e48\u0e2d\u0e15\u0e31\u0e49\u0e07\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e16\u0e32\u0e1a\u0e31\u0e19\u0e27\u0e34\u0e08\u0e31\u0e22\u0e19\u0e32\u0e42\u0e19\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e17\u0e23\u0e2d\u0e19\u0e34\u0e01\u0e2a\u0e4c\u0e02\u0e2d\u0e07 AIST \u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e34\u0e49\u0e19\u0e40\u0e14\u0e37\u0e2d\u0e19\u0e21\u0e35\u0e19\u0e32\u0e04\u0e21 2014 \u0e44\u0e14\u0e49\u0e17\u0e33\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e34\u0e08\u0e31\u0e22\u0e23\u0e48\u0e27\u0e21\u0e01\u0e31\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e01\u0e35\u0e48\u0e22\u0e27\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e31\u0e1a MOSFET \u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14 P \u0e41\u0e25\u0e30 N \u0e42\u0e14\u0e22\u0e43\u0e0a\u0e49 polycrystalline Ge (\u0e02\u0e48\u0e32\u0e27\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e0a\u0e32\u0e2a\u0e31\u0e21\u0e1e\u0e31\u0e19\u0e18\u0e4c\u0e02\u0e2d\u0e07 AIST \u0e40\u0e21\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e27\u0e31\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48 12 \u0e18\u0e31\u0e19\u0e27\u0e32\u0e04\u0e21 2013) \u0e07\u0e32\u0e19\u0e27\u0e34\u0e08\u0e31\u0e22\u0e19\u0e35\u0e49\u0e21\u0e35\u0e27\u0e31\u0e15\u0e16\u0e38\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e07\u0e04\u0e4c\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32 LSI \u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e41\u0e25\u0e30\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e19\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e25\u0e07 \u0e08\u0e32\u0e01\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e34\u0e08\u0e31\u0e22\u0e43\u0e19\u0e1b\u0e31\u0e08\u0e08\u0e38\u0e1a\u0e31\u0e19 \u0e44\u0e14\u0e49\u0e21\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e19\u0e30\u0e19\u0e33\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e43\u0e2b\u0e21\u0e48\u0e46 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e19\u0e33\u0e44\u0e1b\u0e2a\u0e39\u0e48\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e17\u0e23\u0e32\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e2a\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e42\u0e1e\u0e25\u0e35\u0e04\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e15\u0e31\u0e25\u0e44\u0e25\u0e19\u0e4c Ge \u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14 N \u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e44\u0e1b\u0e2d\u0e35\u0e01<\/p>\n \u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e34\u0e08\u0e31\u0e22\u0e19\u0e35\u0e49\u0e14\u0e33\u0e40\u0e19\u0e34\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23 (\u0e1b\u0e35\u0e07\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e32\u0e13 2010 \u0e16\u0e36\u0e07\u0e1b\u0e35\u0e07\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e32\u0e13 2013) \u0e17\u0e35\u0e48 GNC \u0e42\u0e14\u0e22\u0e44\u0e14\u0e49\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e08\u0e32\u0e01\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e30\u0e14\u0e21\u0e17\u0e38\u0e19\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e34\u0e08\u0e31\u0e22\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e19\u0e27\u0e31\u0e15\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e19\u0e33\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e42\u0e25\u0e01\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e27\u0e34\u0e17\u0e22\u0e32\u0e28\u0e32\u0e2a\u0e15\u0e23\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2a\u0e21\u0e32\u0e04\u0e21\u0e2a\u0e48\u0e07\u0e40\u0e2a\u0e23\u0e34\u0e21\u0e27\u0e34\u0e17\u0e22\u0e32\u0e28\u0e32\u0e2a\u0e15\u0e23\u0e4c\u0e41\u0e2b\u0e48\u0e07\u0e0d\u0e35\u0e48\u0e1b\u0e38\u0e48\u0e19 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e42\u0e14\u0e22\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e19\u0e42\u0e22\u0e1a\u0e32\u0e22\u0e27\u0e34\u0e17\u0e22\u0e32\u0e28\u0e32\u0e2a\u0e15\u0e23\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35<\/p>\n \u0e1f\u0e34\u0e25\u0e4c\u0e21 Polycrystalline Ge \u0e17\u0e35\u0e48\u0e01\u0e48\u0e2d\u0e15\u0e31\u0e27\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e17\u0e23\u0e32\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e2a\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e08\u0e30\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e14\u0e31\u0e07\u0e19\u0e35\u0e49: \u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e44\u0e0b\u0e14\u0e4c\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19 (SiO2) \u0e16\u0e39\u0e01\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e1a\u0e19\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27 Si \u0e08\u0e32\u0e01\u0e19\u0e31\u0e49\u0e19\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e27\u0e34\u0e18\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e42\u0e1b\u0e23\u0e22\u0e25\u0e07\u0e21\u0e32\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e2a\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e1f\u0e34\u0e25\u0e4c\u0e21 Ge \u0e17\u0e35\u0e48\u0e44\u0e21\u0e48\u0e21\u0e35\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e23\u0e48\u0e32\u0e07 \u0e08\u0e32\u0e01\u0e19\u0e31\u0e49\u0e19\u0e08\u0e30\u0e16\u0e39\u0e01\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e15\u0e01\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01\u0e42\u0e14\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e27\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e42\u0e14\u0e22\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2b\u0e25\u0e2d\u0e21\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e2b\u0e25\u0e2d\u0e14\u0e44\u0e1f\u0e41\u0e1f\u0e25\u0e0a ( \u0e40\u0e2d\u0e1f\u0e41\u0e2d\u0e25\u0e40\u0e2d) \u0e40\u0e21\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e1f\u0e34\u0e25\u0e4c\u0e21 Polycrystalline Ge \u0e19\u0e35\u0e49\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e17\u0e23\u0e32\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e2a\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e43\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e27\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e08\u0e30\u0e2d\u0e22\u0e39\u0e48\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e2a\u0e38\u0e14 350 \u00b0C \u0e42\u0e14\u0e22\u0e44\u0e21\u0e48\u0e01\u0e48\u0e2d\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e35\u0e22\u0e2b\u0e32\u0e22 \u0e41\u0e21\u0e49\u0e27\u0e48\u0e32\u0e08\u0e30\u0e21\u0e35\u0e27\u0e07\u0e08\u0e23\u0e23\u0e27\u0e21\u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e23\u0e27\u0e21\u0e16\u0e36\u0e07\u0e2a\u0e32\u0e22\u0e17\u0e2d\u0e07\u0e41\u0e14\u0e07\u0e2d\u0e22\u0e39\u0e48\u0e1a\u0e19\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e01\u0e47\u0e15\u0e32\u0e21 \u0e17\u0e23\u0e32\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e2a\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e15\u0e49\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e21\u0e35\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e17\u0e23\u0e32\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e2a\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e44\u0e21\u0e48\u0e21\u0e35\u0e08\u0e38\u0e14\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e21\u0e35\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e17\u0e23\u0e07\u0e04\u0e23\u0e35\u0e1a\u0e41\u0e2a\u0e14\u0e07\u0e43\u0e19\u0e41\u0e1c\u0e19\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e23\u0e38\u0e1b (\u0e41\u0e1c\u0e19\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e19\u0e27\u0e04\u0e34\u0e14\u0e41\u0e25\u0e30\u0e41\u0e1c\u0e19\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07) \u0e0a\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e2a\u0e31\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e13\u0e41\u0e25\u0e30\u0e0a\u0e34\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e15\u0e49\u0e19\u0e17\u0e32\u0e07\/\u0e17\u0e48\u0e2d\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e32\u0e22\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e17\u0e23\u0e32\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e2a\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14 N \u0e17\u0e35\u0e48\u0e44\u0e21\u0e48\u0e21\u0e35\u0e08\u0e38\u0e14\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e21\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14 N \u0e17\u0e31\u0e49\u0e07\u0e2b\u0e21\u0e14 \u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e44\u0e23\u0e01\u0e47\u0e15\u0e32\u0e21 \u0e40\u0e19\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e08\u0e32\u0e01\u0e42\u0e1e\u0e25\u0e35\u0e04\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e15\u0e31\u0e25\u0e44\u0e25\u0e19\u0e4c Ge \u0e42\u0e14\u0e22\u0e1b\u0e01\u0e15\u0e34\u0e08\u0e30\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e20\u0e17 P \u0e08\u0e36\u0e07\u0e08\u0e33\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e41\u0e1b\u0e25\u0e07\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e42\u0e1e\u0e25\u0e35\u0e04\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e15\u0e31\u0e25\u0e44\u0e25\u0e19\u0e4c Ge \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e20\u0e17 N \u0e42\u0e14\u0e22\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e31\u0e07\u0e04\u0e07\u0e04\u0e38\u0e13\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e44\u0e27\u0e49 \u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19\u0e19\u0e35\u0e49 \u0e2b\u0e25\u0e31\u0e07\u0e08\u0e32\u0e01\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e27\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e23\u0e31\u0e49\u0e07\u0e41\u0e23\u0e01\u0e42\u0e14\u0e22\u0e27\u0e34\u0e18\u0e35 FLA \u0e08\u0e30\u0e21\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e2a\u0e34\u0e48\u0e07\u0e40\u0e08\u0e37\u0e2d\u0e1b\u0e19\u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14 N (\u0e1f\u0e2d\u0e2a\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e31\u0e2a) \u0e44\u0e27\u0e49 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e14\u0e33\u0e40\u0e19\u0e34\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23 FLA \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e04\u0e23\u0e31\u0e49\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e01\u0e23\u0e30\u0e15\u0e38\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e34\u0e48\u0e07\u0e40\u0e08\u0e37\u0e2d\u0e1b\u0e19\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49 (\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e17\u0e35\u0e48 1) \u0e27\u0e34\u0e18\u0e35 FLA \u0e2a\u0e2d\u0e07\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e15\u0e2d\u0e19\u0e19\u0e35\u0e49\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e1f\u0e34\u0e25\u0e4c\u0e21 Ge \u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14\u0e42\u0e1e\u0e25\u0e35\u0e04\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e15\u0e31\u0e25\u0e44\u0e25\u0e19\u0e4c N \u0e04\u0e38\u0e13\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e44\u0e14\u0e49<\/p>\n \u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e15\u0e31\u0e27\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e2d\u0e1f\u0e40\u0e1f\u0e01\u0e15\u0e4c\u0e2e\u0e2d\u0e25\u0e25\u0e4c\u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e41\u0e2a\u0e14\u0e07\u0e16\u0e36\u0e07\u0e04\u0e38\u0e13\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1f\u0e34\u0e25\u0e4c\u0e21\u0e42\u0e1e\u0e25\u0e35\u0e04\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e15\u0e31\u0e25\u0e44\u0e25\u0e19\u0e4c Ge \u0e17\u0e35\u0e48\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e42\u0e14\u0e22\u0e27\u0e34\u0e18\u0e35\u0e19\u0e35\u0e49\u0e41\u0e2a\u0e14\u0e07\u0e43\u0e19\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e17\u0e35\u0e48 2 \u0e17\u0e31\u0e49\u0e07\u0e1f\u0e34\u0e25\u0e4c\u0e21\u0e42\u0e1e\u0e25\u0e35\u0e04\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e15\u0e31\u0e25\u0e44\u0e25\u0e19\u0e4c Ge \u0e17\u0e31\u0e49\u0e07\u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14 N (\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e15\u0e23\u0e2d\u0e19) \u0e41\u0e25\u0e30\u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14 P (\u0e23\u0e39) \u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e04\u0e25\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e15\u0e31\u0e27\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e2b\u0e19\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01\u0e40\u0e14\u0e35\u0e48\u0e22\u0e27 \u0e28\u0e23\u0e35. \u0e19\u0e35\u0e48\u0e41\u0e2a\u0e14\u0e07\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e2b\u0e47\u0e19\u0e27\u0e48\u0e32\u0e17\u0e23\u0e32\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e2a\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e40\u0e2b\u0e19\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32 Si \u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01\u0e40\u0e14\u0e35\u0e48\u0e22\u0e27\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e42\u0e14\u0e22\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e1f\u0e34\u0e25\u0e4c\u0e21 Ge \u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e42\u0e1e\u0e25\u0e35\u0e04\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e15\u0e31\u0e25\u0e44\u0e25\u0e19\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e08\u0e32\u0e01\u0e27\u0e34\u0e18\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19<\/p>\n \u0e17\u0e23\u0e32\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e2a\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c Polycrystalline Ge \u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14 N \u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e44\u0e21\u0e48\u0e21\u0e35\u0e23\u0e2d\u0e22\u0e15\u0e48\u0e2d (\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e22\u0e32\u0e27\u0e40\u0e01\u0e15: 70 \u0e19\u0e32\u0e42\u0e19\u0e40\u0e21\u0e15\u0e23) \u0e16\u0e39\u0e01\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e42\u0e14\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e27\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e1f\u0e34\u0e25\u0e4c\u0e21 Ge \u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14\u0e42\u0e1e\u0e25\u0e35\u0e04\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e15\u0e31\u0e25\u0e44\u0e25\u0e19\u0e4c N \u0e17\u0e35\u0e48\u0e2d\u0e18\u0e34\u0e1a\u0e32\u0e22\u0e44\u0e27\u0e49\u0e02\u0e49\u0e32\u0e07\u0e15\u0e49\u0e19\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e17\u0e23\u0e07\u0e04\u0e23\u0e35\u0e1a\u0e41\u0e25\u0e30\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e42\u0e25\u0e2b\u0e30\u0e1c\u0e2a\u0e21\u0e19\u0e34\u0e01\u0e40\u0e01\u0e34\u0e25-\u0e40\u0e08\u0e2d\u0e40\u0e23\u0e40\u0e19\u0e35\u0e22\u0e21\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e40\u0e15\u0e34\u0e21 (\u0e42\u0e25\u0e2b\u0e30\u0e1c\u0e2a\u0e21 Ni-Ge) \u0e43\u0e19 \u0e41\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e32\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e40\u0e27\u0e13\u0e17\u0e48\u0e2d\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e32\u0e22\u0e19\u0e49\u0e33 \u0e04\u0e38\u0e13\u0e25\u0e31\u0e01\u0e29\u0e13\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e16\u0e48\u0e32\u0e22\u0e42\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e2d\u0e32\u0e15\u0e4c\u0e1e\u0e38\u0e15\u0e08\u0e30\u0e41\u0e2a\u0e14\u0e07\u0e43\u0e19\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e17\u0e35\u0e48 3 \u0e04\u0e48\u0e32\u0e01\u0e23\u0e30\u0e41\u0e2a\u0e40\u0e14\u0e23\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e41\u0e23\u0e07\u0e14\u0e31\u0e19\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e02\u0e13\u0e30\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19 1 V \u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e43\u0e01\u0e25\u0e49\u0e40\u0e01\u0e37\u0e2d\u0e1a 120 \u00b5A\/\u00b5m \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e04\u0e48\u0e32\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e32\u0e01\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e04\u0e48\u0e32\u0e17\u0e31\u0e48\u0e27\u0e44\u0e1b\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e32\u0e13 10 \u0e40\u0e17\u0e48\u0e32 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e17\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e40\u0e17\u0e48\u0e32\u0e01\u0e31\u0e1a MOSFET \u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14 Si N \u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14\u0e42\u0e1e\u0e25\u0e35\u0e04\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e15\u0e31\u0e25\u0e44\u0e25\u0e19\u0e4c \u0e21\u0e35\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e40\u0e01\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e40\u0e17\u0e48\u0e32\u0e01\u0e31\u0e19 \u0e40\u0e0a\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e01\u0e31\u0e19\u0e27\u0e48\u0e32\u0e27\u0e34\u0e18\u0e35 FLA \u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e2a\u0e2d\u0e07\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e15\u0e2d\u0e19\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e23\u0e30\u0e15\u0e38\u0e49\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2a\u0e34\u0e48\u0e07\u0e40\u0e08\u0e37\u0e2d\u0e1b\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e21\u0e32\u0e01\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e04\u0e48\u0e32\u0e1b\u0e01\u0e15\u0e34 \u0e2a\u0e48\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e32\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e1b\u0e23\u0e2a\u0e34\u0e15\u0e25\u0e14\u0e25\u0e07 \u0e40\u0e17\u0e04\u0e42\u0e19\u0e42\u0e25\u0e22\u0e35\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e38\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e23\u0e47\u0e27\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e07\u0e32\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e17\u0e23\u0e32\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e2a\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14 N \u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e40\u0e2b\u0e47\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e0a\u0e31\u0e14 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e01\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49\u0e16\u0e37\u0e2d\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19 "\u0e04\u0e2d\u0e02\u0e27\u0e14" \u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e07\u0e32\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e07\u0e08\u0e23\u0e23\u0e27\u0e21\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e17\u0e23\u0e32\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e2a\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e42\u0e1e\u0e25\u0e35\u0e04\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e15\u0e31\u0e25\u0e44\u0e25\u0e19\u0e4c Ge \u0e17\u0e23\u0e32\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e2a\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c Polycrystalline Si \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e21\u0e35\u0e41\u0e19\u0e27\u0e42\u0e19\u0e49\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e08\u0e30\u0e40\u0e1b\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e40\u0e17\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e17\u0e23\u0e32\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e2a\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c Polycrystalline Ge \u0e42\u0e14\u0e22\u0e17\u0e31\u0e48\u0e27\u0e44\u0e1b\u0e41\u0e25\u0e49\u0e27\u0e08\u0e30\u0e21\u0e35\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e15\u0e48\u0e33\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e17\u0e23\u0e32\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e2a\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c Single-crystalline Si \u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e17\u0e23\u0e32\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e2a\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c Polycrystalline Ge \u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14 P \u0e19\u0e31\u0e49\u0e19\u0e40\u0e2b\u0e19\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e17\u0e23\u0e32\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e2a\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c Polycrystalline Si \u0e41\u0e25\u0e49\u0e27 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e17\u0e31\u0e14\u0e40\u0e17\u0e35\u0e22\u0e21\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e17\u0e23\u0e32\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e2a\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c Single-crystalline Si \u0e27\u0e34\u0e18\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e01\u0e49\u0e32\u0e27\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e21\u0e32\u0e01\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e27\u0e07\u0e08\u0e23 Polycrystalline Ge CMOS \u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e2a\u0e39\u0e07<\/p>\n \u0e43\u0e19\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e48\u0e07\u0e1c\u0e48\u0e32\u0e19\u0e43\u0e19\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e17\u0e35\u0e48 3 \u0e01\u0e23\u0e30\u0e41\u0e2a\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e19\u0e2d\u0e01\u0e2a\u0e16\u0e32\u0e19\u0e30\u0e08\u0e30\u0e21\u0e35\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e43\u0e2b\u0e0d\u0e48 \u0e14\u0e31\u0e07\u0e19\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1b\u0e34\u0e14\/\u0e1b\u0e34\u0e14\u0e40\u0e21\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e43\u0e0a\u0e49 1 V \u0e08\u0e36\u0e07\u0e2d\u0e22\u0e39\u0e48\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e32\u0e13 10 \u0e40\u0e17\u0e48\u0e32\u0e19\u0e31\u0e49\u0e19 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e1b\u0e31\u0e0d\u0e2b\u0e32 \u0e14\u0e31\u0e07\u0e19\u0e31\u0e49\u0e19 \u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e25\u0e14\u0e01\u0e23\u0e30\u0e41\u0e2a\u0e19\u0e2d\u0e01\u0e2a\u0e16\u0e32\u0e19\u0e30 \u0e08\u0e36\u0e07\u0e44\u0e14\u0e49\u0e21\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e19\u0e30\u0e19\u0e33\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e0a\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e23\u0e30\u0e2b\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e42\u0e17\u0e23\u0e14 Ni-Ge \u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e01\u0e15 \u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e25\u0e14\u0e01\u0e23\u0e30\u0e41\u0e2a\u0e19\u0e2d\u0e01\u0e2a\u0e16\u0e32\u0e19\u0e30\u0e25\u0e07\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e37\u0e2d 1\/1000 (\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e17\u0e35\u0e48 4) \u0e41\u0e21\u0e49\u0e27\u0e48\u0e32\u0e01\u0e23\u0e30\u0e41\u0e2a\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e16\u0e32\u0e19\u0e30\u0e08\u0e30\u0e25\u0e14\u0e25\u0e07\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e19\u0e49\u0e2d\u0e22 \u0e41\u0e15\u0e48\u0e01\u0e23\u0e30\u0e41\u0e2a\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e16\u0e32\u0e19\u0e30\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e23\u0e30\u0e41\u0e2a\u0e19\u0e2d\u0e01\u0e2a\u0e16\u0e32\u0e19\u0e30\u0e15\u0e48\u0e33\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e04\u0e32\u0e14\u0e2b\u0e27\u0e31\u0e07\u0e44\u0e14\u0e49\u0e42\u0e14\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e0a\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e23\u0e30\u0e2b\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e42\u0e17\u0e23\u0e14 Ni-Ge \u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e01\u0e15<\/p>\n \u0e41\u0e1c\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e19\u0e32\u0e04\u0e15\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e27\u0e07\u0e08\u0e23\u0e23\u0e27\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e23\u0e27\u0e21 Ge \u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e42\u0e1e\u0e25\u0e35\u0e04\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e15\u0e31\u0e25\u0e44\u0e25\u0e19\u0e4c\u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14 P \u0e41\u0e25\u0e30\u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14 N\u00a0\u0e17\u0e23\u0e32\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e2a\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/a>\u00a0\u0e1a\u0e19\u0e1f\u0e34\u0e25\u0e4c\u0e21\u0e09\u0e19\u0e27\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e2a\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e07\u0e32\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e07\u0e08\u0e23 \u0e40\u0e1b\u0e49\u0e32\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e22\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e40\u0e15\u0e34\u0e21 \u0e44\u0e14\u0e49\u0e41\u0e01\u0e48 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e31\u0e12\u0e19\u0e32 3D-LSI \u0e1e\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22 Polycrystalline Ge \u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e23\u0e35\u0e22\u0e07\u0e0b\u0e49\u0e2d\u0e19 \u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e25\u0e14 LSI \u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e25\u0e07\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e21\u0e32\u0e01 \u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e \u0e41\u0e25\u0e30\u0e25\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19<\/p>\n A research collaborative has developed a new polycrystalline film-forming technology to achieve a three-dimensional (3D) stacking technology for large-scale integrated circuits (LSIs), greatly improving the performance of N-type polycrystalline germanium (Ge) transistors. Polycrystalline Ge can be formed at a lower temperature (500 \u00b0C or below) than the widely used polycrystalline silicon (Si). This allows<\/p>","protected":false},"author":1,"featured_media":7997,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":[],"categories":[1],"tags":[],"acf":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.huashu-tech.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/7993"}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.huashu-tech.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.huashu-tech.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.huashu-tech.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.huashu-tech.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=7993"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/www.huashu-tech.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/7993\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":7998,"href":"https:\/\/www.huashu-tech.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/7993\/revisions\/7998"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.huashu-tech.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/media\/7997"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.huashu-tech.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=7993"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.huashu-tech.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=7993"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.huashu-tech.com\/th\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=7993"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}


